结晶态硅材料的制备方法通常是先将硅石(SiO2)在电炉中高温还原为冶金级硅(纯度95%～99%)，然后将其变为硅的卤化物或氢化物，经提纯，以制备纯度很高的硅多晶。包括硅多晶的西门子法制备、硅多晶的法制备。在制造大多数半导体器件时，用的硅材料不是硅多晶，单晶硅粉供应商，而是高完整性的硅单晶。通常用直拉法或区熔法由硅多晶制得硅单晶。
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