石墨加热器是一种使用石墨材料作为加热元件的加热设备,通常被用于高温、高纯度、高真空和特殊气氛的加热场合。以下是石墨加热器的一些应用:
热处理:石墨加热器常用于金属材料的热处理过程中,例如淬火、退火、时效等。
半导体制造:石墨加热器可以在高真空和特殊气氛下加热,非常适用于半导体制造过程中的气相沉积、化学气相沉积等工艺。
材料烧结:石墨加热器可以在高温下将粉末材料烧结成为固体材料,例如烧结陶瓷材料、金属粉末烧结等。
实验室研究:石墨加热器在实验室研究中也有广泛应用,例如合成新材料、研究物质性质等。
石墨加热器具有高温、高纯度、高真空、特殊气氛等特点,因此在需要这些条件的加热场合中都有广泛应用