拉单晶硅用电弧半透明石英坩埚

石英坩埚

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原辅材料
　　主要原料：高纯石英砂
　　主要指标：（单位：ppm）
元素名称 Al Fe Ca Mg Ti NiMn Cu Li Na K Co B
含量 11.6 0.3 0.5 0.5 1.00.01 0.05 0.01 0.7 0.43 0.42 0.03 0.04
　1、辅料：
　　①石墨电极采用φ76mm粗高纯电极棒
　　灰份：<80PPm
　　假比重：1.6g/cm
　　比电阻：<15×10Ω.cm
　　抗弯强度：>1.47×10Pa
　　②石墨模具
　　灰份：<200PPm
　　假比重：16g/cm
　　抗弯强度：>1.67×10Pa
　　③大尺寸石英遮热板
　　纯度：Al<200 Na<30Li<30
　　Fe<30K<30

1．石英坩埚可在1650度以下使用，分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，是发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今，世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。它具有高纯度、耐温性强、尺寸大、精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。

2、不能和HF接触，高温时，极易和苛性碱及碱金属的碳酸盐反应。

3．石英坩埚适于用K2S2O7，KHSO4作熔剂熔融样品和用Na2S207(先在212度烘干)作熔剂处理样品。

4．石英质脆，易破，使用时要注意。

5．除HF外，普通稀无机酸可用作清洗液。

主要石英产品为直拉单晶硅用电弧石英坩埚及石英制品，产品主要应用于光伏和半导体领域，可支持太阳能和半导体用户高温条件下连续拉晶。

石英制品主要包括石英复投器、石英护套、石英电极片、石英环、石英液面测位销等，常规规格和产品参数如图所示。可按照客户特殊要求定制。

常规石英坩埚尺寸